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东元集团携工业4.0系统智能方案---“S(元器件)I(变频器)M(电机)G(减速机)C(智慧云)”方案参展,为物联网时代的客户提供了具有竞争力的解决方案。在东元集团展示的产品中,有一款为耀眼的产品,那就是款便携式振动诊断仪。此产品受到了媒体的热烈追捧,被媒体称为台湾“黑科技”产品。在本界展会,被授予博览会金奖。

二、东元伺服在固晶机的应用
固晶机上总共采用4套200W伺服(JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK)和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK),分别控制X,Y轴传动机构以及键合臂取晶动作。其中要求的为控制键合臂的100W伺服。
三、伺服动作要求
100W伺服电机通过同步带带动连杆快速正反转实现装有吸晶咀的键合臂做逆时针和顺时针方向位移,逆时针到位后吸晶咀吸取晶元然后顺时针固定晶圆。此动作要求:1.快速定位时,马达要平稳,不能抖动,否则吸晶和固晶的位置会不准确;2.客户要求每个动作周期尽量的快,由此对伺服的响应有较高要求。
通过伺服增益参数的调整,终可以实现键合臂伺服在3msec内完成整定,整个固晶周期为245msec/颗,获得客户的认可。
伺服参数设定:
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要使被齿轮甩在轴承上多余的润滑油不在轴封处积聚,必须使多余的润滑油沿一定方向流回油池,即做到畅流。具体的做法是在轴承座的下瓦中心开一个向机内倾斜的回油槽,同时在端盖直口处也开一缺口,缺口正对回油槽,这样多余的润滑油经缺口、回油槽流回油池。3 改进轴封结构1)输出轴为半轴的减速机轴封改进
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